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作者:紀佃昀、許勝傑機器人精度提升校正技術

機器人精度提升是一項很重要的技術，由於機器人廣泛應用於工業上的組裝、搬運、製造與加工等，要如何提升機器人的準確性與效能是十分重要的，透過校正流程，包括對機器人的感測、定位和運動控制系統進行調整優化，機器人可以更準確地執行任務，降低錯誤率，提高生產效率，擴大機器人應用的範圍，從而增強其應用價值和競爭力，而隨著智慧與學習技術的發展，機器人精度校正技術也在不斷進步，為各行各業帶來更多應用和創新，因此，本文討論了機器人精度校正方法，並透過此方法找出造成定位偏差的連桿尺寸、組裝誤差等，進而提升機器人的精度，以符合焊接、組裝需求等應用。

作者:覺文郁、謝東賢、許家銘、張祐維、曾政中、陸品威、邱瀞瀅、黃森億高階工具機精度量測與補償技術

隨著科技與生產技術的進步，工具機逐漸由傳統三軸加工機發展為具備多軸同動的高階工具機種，例如五軸加工中心機、車銑複合加工機等。伴隨而來的是，如何提升高階工具機的產品精度。因此，工具機的精度量測與補償技術成為一項課題。本文將透過光學非接觸式五軸量測系統LASER R-TEST，搭配商用CNC控制器(HEIDENHAIN、SIEMENS、FANUC)，在高階五軸工具機工作空間中進行國際標準組織(International Organization for Standardization, ISO)規範之K1、K2、K4動／靜態檢測路徑，進行工具機精度量測與誤差補償。其包括旋轉軸角度定位誤差補償、旋轉軸偏心誤差補償、旋轉軸空間誤差補償。最後進行K4路徑檢測，其總成誤差補償至約5 μm。

作者:張隆武、方彥博、劉建聖、陳昱達、林威辰雷射源微型精密構裝與檢測技術應用

本研究提出一款新型非接觸式光學量測系統，用於雷射源微型精密構裝線性位移平台六自由度誤差量測，相較於市售光學量測儀器，如雷射干涉儀與自動視準儀等，此量測系統具有同時量測線性軸六自由度誤差和低成本的優勢。整體量測系統係由一個雷射源、兩個立方體分光鏡、兩個平面反射鏡及三個位置感測器所組成。利用歪斜光線追蹤理論與一階泰勒展開，建立當量測系統具有六自由度幾何誤差時的數學模型，最後建立實驗室雛型品，實驗結果顯示，本量測系統位移重複精度為±0.6 μm、角度重複精度為±0.2 arcsec，再搭配雷射干涉儀的實驗比對，實驗結果顯示整體量測系統精度在位移為±1 μm、角度為±0.2 arcsec，量測行程為6 mm。

作者:林宗儁、林博正、劉玳菱離心式葉輪之幾何分析與量測

作者:胡振嘉、黃煥祺、林慶芳、陳俊賢生產線上量測設備與智慧補償模組：以活塞和傳動軸為例

在汽車產業中，活塞與傳動軸為動力關鍵零組件，開迴路的加工限制，遇到生產調整、溫度飄移或刀具磨耗之尺寸偏移的情況，會發生精度不足及後製程動力損失的情況。為了提高基於智動線的全檢生產中工件的加工精度和加工效率，特別研究適應這種生產模式的線上智能補償模組。本文開發目標為CNC加工機刀具偏移建立自動補償系統，此技術已成功應用於活塞內徑與外徑補償以及傳動軸外徑補償，並以電控配合機構手臂輸送料紀錄，無須人員操作調整，兼具高速動態穩定以及長期加工數據傳遞特性，增加安全可靠度以及降低失誤率。本文透過閉迴路架構、補償策略、時延分析、量測性能、模擬驗證與雛型機確效，建立刀具調控之智慧補償技術。

作者:潘楷明、郭晨輝、林勇志、蓋震宇、廖述鐘、陳羿銘智慧量測趨勢發展與產業應用

為因應智慧機械產業發展及提升工具機附加價值及智慧自動化之發展，線上量測技術的開發是近年來的趨勢，導入線上量測功能不但可以提升生產效率，也能避免因拆裝工件而產生誤差，目前各家廠商所發展之線上量測技術已趨近成熟，若將其導入智慧機械並開發相關應用軟體，能進一步控管加工精度並減少加工錯誤；因此，本文將進行目前線上量測於工具機之量測測頭與相關應用軟體，並介紹工研院智慧機械科技中心於線上量測之應用發展。

作者:陳廷翰、陳智榮、陳昱達、陳民融、李日傑、林煒祥融合主成分分析與不確定理論之雷射干涉儀全域誤差辨識於控制器應用發展

在精密量測領域中，雷射干涉儀是確保工具機與半導體製程中位移平台達到高精度定位的重要量測設備，其量測不確定度之評估對控制器的位置補償具有關鍵影響。然而，由於機台架構差異與工廠溫控環境不一致，傳統不確定度分析方法往往僅針對各影響參數逐一分析，難以全面揭示量測數據中所隱含的「整體變異」（Structural Variability），尤其是在多變量量測情境中，各不確定度來源於不同操作條件下的交互影響亦難以被充分辨識。為突破上述限制，本研究提出一套基於主成分分析（Principal Component Analysis, PCA）的不確定度診斷方法。相較於僅分析單一參數變異的傳統做法，PCA 能整合多項量測因子，解析其對系統所造成的整體變異模式，並辨識主導不確定度的關鍵因素。此方法可更全面掌握量測系統的變動來源，為精密量測設備的最佳化設計與誤差補償策略提供科學性的決策基礎。

作者:許晉謀、楊宗育、林煒祥五軸體積空間精度機上型量測與補償方案

機上型五軸機體積空間精度量測與補償技術，結合輕量化基座、非接觸式位移感測器與光學標準球，實現加工區域內的快速量測，針對體積空間精度誤差中的關鍵項目進行排序，協助研判誤差成因並制定機構調整策略。並透過原型機體積空間精度資料庫的整合應用，建立完整補償參數模型，進一步提升設備的精度穩定性與產品良率。

作者:羅宇然工具機線上力量量測技術介紹

隨著智慧製造與自動化技術的持續進展，工具機機上之力量量測技術已成為提升加工品質與系統穩定性之關鍵要素。切削力不僅是判斷刀具磨耗與分析加工力學的重要依據，亦廣泛應用於顫振抑制、表面品質控制及製程參數最佳化。另一方面，預壓力（如主軸軸承預壓與工件夾持力）的精確控制，對於維持機構剛性、延長零組件壽命與確保加工穩定性，亦具關鍵性影響。本文將分析各類力量量測技術之性能特性與機上整合所面臨之挑戰，並探討量測數據於工具機動態行為分析與製程監控中的應用潛力，進而提出未來技術發展趨勢與研究方向。

作者:姜奕弘、蔡承翰、洪國峰智慧型焊接路徑生成技術

從青銅時代到現代，焊接技術經歷了革命性的變革，智慧視覺整合手臂焊接成為當今的先進方法。這項技術結合了機器視覺和自動化機械手臂的能力，實現了高精度、高效率的焊接作業。。本研究開發目標為如何快速整合智慧視覺系統、並搭配原有模擬路徑的規劃，同時也具備深度資訊的感測，來達到快速且有效的智慧型焊接機器人。

作者:張家豪、蘇郁仁、黃威電漿離子能量分佈量測技術

現代半導體元件製造過程中，舉凡電漿蝕刻(plasma etch)、電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)、物理氣相沉積(PVD)等電漿相關製程均扮演極為重要的角色。如何提升製程良率及產量，成為製造商彼此間相互競爭的重點開發項目，也是設備廠商所需面對的課題之一。而隨著半導體元件尺寸不斷縮小，使用材料多元化，對於製程技術與設備開發所面臨的挑戰也就更加嚴苛，唯有深入了解製程腔體中電漿特性參數，才能夠掌握製程反應機制與結果。而電漿蝕刻製程中離子能量大小對製程結果，諸如蝕刻率、蝕刻選擇比及表面輪廓控制等，都有顯著的影響。本文將針對離子能量分佈(Ion Energy Distribution, IED)量測方法進行介紹。

作者:易承霈、吳逸鈞、劉家榮、郭吟翎、李宛龍、楊士進外掛式感測系統於工業馬達磁鐵故障偵測應用

隨著物聯網技術的興起，工業上對於機械系統運轉狀況之即時回報功能也受到重視，其日漸成為主流研究目標。本文主要就永磁同步馬達之線上監測技術，透過開發外掛硬體的方式，進行非侵入式之即時磁場量測。此外積分電路的應用也將在本文中引入，利用其對馬達脈寬調變驅動系統之電壓量測能力，能精準還原出原始電壓並大幅提升馬達磁通估測效能，之後再透過已知參數進行永磁磁通解離，以完成即時馬達永磁場狀態監測目的。本文將以健康、均勻退磁(剩餘磁力60% , Uniform Demagnetization UD)及區域退磁(單槽磁力剩餘0% , Local Demagnetization LD)三顆400W馬達進行磁通估測器效能驗證。

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