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作者:李侃峰、盧江溪真空製程設備節能技術

臺灣半導體設備規模逐年擴大，面臨能源短缺議題與節能減碳的推廣，真空製程設備朝向降低能源使用率與提升能源效率等目標製造，因此，逐步運用節能可達20~50%的高效率變頻真空泵，但生產線上仍有許多高耗能的定頻真空泵持續使用，本文回顧常見的真空泵節能技術，並比較其節能效益差異，以作為國內廠商導入真空泵系統節能之參考。

作者:王信陽台灣電子設備產業創新十年的發展契機

半導體與顯示器是台灣的兩大核心製造產業，台灣的半導體和顯示器都在全球處於領先地位，發揮台灣的優勢產業，這將會是台灣電子設備產業成為兆元產業最有利的關鍵。

作者:林俞廷、鄭淙仁、林志浩、陳品均、王靖惠精密伺服成形系統之國內自主整合規畫與開發

國內金屬成形產業與電子零組件業、精密零組件產業等息息相關，近年因產品周期性短與精密度要求提高，日本已多年使用具可多工彈性的伺服成形系統，如上所述，參考成形工具機領先國在伺服沖床應用日漸增加，作為因應現今微細、精密成形部品需求提高，本研究將規畫設計以精密兼具多種應用曲線的伺服沖壓成形設備開發。

本文思及未來國內需求潛力，中心結合國內現有機電整合能量，先期考量模具業者於沖床上的使用機制，規畫以台達控制器作為開發伺服成形操作主要系統核心；經由輸入馬達位置與速度控制，以帶動沖床機構所對應之彎曲、鍛壓、引伸與沖切等四種成形曲線，並搭配精密微型用的沖床設計開發，由國內自行開發出精微伺服沖床，以提供國內精密零件業者之使用需求。

作者:邱琬雯全球顯示器設備市場及產業發展趨勢

LCD設備市場自2018年將逐年下滑，2020年預估為48億美元(不含服務市場)，2020~2022年，LCD設備市場將以目前中國大陸10.5/11代產線擴建、產能、效率、良率之提升需求為主，已無新的建廠計畫需求。因中美貿易戰造成2019年OLED設備需求大幅下滑，2020年之OLED設備需求再度回升，預估為87.2億美元(不含服務市場)，2021年雖有變動調整，但未來幾年將以OLED設備需求市場為主。其中，中國大陸為最大之顯示器設備市場，占有70%以上之需求規模，其次為韓國。

作者:張雯琪下世代半導體設備的先進技術探索與趨勢

2024年全球半導體設備市場預計將達到1,090億美元，根據國際半導體產業協會(SEMI)的報告，市場增長主要受到AI產業，帶動先進製造、2.5D／3D先進封裝技術、矽光子相關設備發展。隨著智慧製造的強化和國際供應鏈的連結，未來幾年內，半導體設備市場的增長潛力將持續擴大。我國政府將半導體作為國家五大信賴產業之一，力推半導體設備國產化，預計到2028年，實現產值倍增，這將進一步同時也促進在地零組件供應鏈的發展。展望未來，隨著下世代晶片技術不斷演進和市場需求的提升，全球半導體設備市場正朝著更高的里程碑邁進。

作者:張雯琪半導體綠色智能工廠的升級及實現

半導體產業積極推動節能減碳，以符合國際淨零碳排目標。半導體廠在範疇一減碳技術的方法包括減少、取代、回收和去除溫室氣體排放。在範疇二則常見透過智慧製造應用方案提高設備能源效率，使用多重感測器搭配智慧預防診斷、即時監控和量測、機聯網、AI運算和遠距服務系統等，增進產能和良率，同時減少平均單片晶圓的能耗量。未來，臺灣設備業者應主動在機台加裝減排和智慧氣體監控系統；建立碳盤查與減碳路徑，制訂短中長期減碳技術策略；取得證書，或是加入綠色製造相關聯盟，確保在半導體綠色供應鏈中不缺席。

作者:蔡承佐、黃以宜、李雅萍電子設備聯網與資訊採集技術

近幾年投入智慧工廠，邁向智慧製造成為各方重要的課題之一，促進產業轉型的物聯網技術亦持續不斷地向外擴散與向上發展，無論是大型高科技公司，或者是中小型傳統產業，投入物聯網應用技術的發展仍有增無減，從產業鏈來看舉凡設備製造端、系統應用端、到工廠使用端，各方投入者皆期待發展出新的模式，新的應用與新的成果可以創造出新的契機。本文將以半導體設備通訊標準（Semi-Conductor Equipment Communication Standard, SECS/GEM）為例，一方面從設備端的角度，說明設備聯網與數據採集能力的程序與要項，另一方面從使用者的角度，描述採集資訊的應用與透過標準通訊達成的手法，供業界參考。

作者:張雯琪臺灣半導體設備進軍全球之機會與挑戰

臺灣半導體製造產能全球第一（全球占比22%）、晶圓代工產能全球第一（67%）、10奈米以下半導體產能全球第一（92%）、封測產能全球第一（55%）、OSAT產能全球第一（33%）[1]，趨動臺灣對半導體設備的需求，多年來穩居全球半導體設備市場前三名。然而現今我國設備主要仰賴進口，國產設備占比僅約一成，先進製造設備更小於5%。受地緣政治、半導體供應鏈重組影響，我國設備業將面臨更激烈的競爭環境，因此除了加速技術自主之外，本文將探討國產設備商，如何敏捷地因應全球半導體產業地緣政治、智慧製造、綠色製造等議題，將有助於我國半導體設備商掌握機會、面對挑戰。

作者:陳冠州、王慶鈞氣體噴灑模組之可靠度工程技術

真空CVD鍍膜為光電半導體之重要關鍵製程，其設備中之氣體噴灑模組更是為其關鍵零組件，攸關腔體內製程氣體之層流均佈而使薄膜能均勻沉積，主導掌控鍍膜的品質與良率。本文探討氣體噴灑模組於產品設計、製造與組裝的過程中，導入可靠度工程技術，找出可能發生故障的原因。透過故障分析手法提升氣體噴灑模組的可靠度，更進一步探討困難的萬支細管真空焊接問題，藉此可靠度的工程技術增加國產MOCVD關鍵零組件的附加價值與國際競爭力，達到國際先進高階設備/零組件的技術水準。

作者:李建毅、楊善荏、莊佳瑾、廖孟秋、黃鵬緒、蔡孟勳、簡嘉宏AI賦能工具機數位雙生平台

近年來國際工具機製造商如 DMG-MORI、MAZAK 皆陸續導入邊緣人工智慧（Edge AI），強化設備的健康狀態監控、異常診斷與製程優化等提升智慧設備。然而，控制器受限於格式封閉且運算效能與外接硬體成本考量，使得AI技術難以在工廠大規模落地，為解決此瓶頸，工研院機械所偕同國立臺灣大學機械系蔡孟勳教授團隊以及新代科技三方合作，建置示範線樣板，以AIEmbedded CNC （Computer Numerical Control）控制器技術，將AI模型直接部署至控制器內，與原有的控制器核心協同運作，並建置工具機邊緣驗證平台，導入國內控制器實測資料驗證AI模型的可行性，降低AIApps上機測試成本，以先驗證再導入的標準化路徑，提供AI模型自工具機數位雙生平台整合的虛擬建模技術，再以AI Embedded CNC控制器技術的控制器端部署到最後於臺中工研院智慧製造驗證場域實機驗證的完整技術路徑，為AI賦能工具機的實用化與產業化奠定基礎。

作者:陳嗚吉、何銘浚、林書字五軸工具機之動態同步響應分析及誤差肇因分析及性能監管

五軸工具機是滿足加工生醫、航太、電動車、風力發電等高值化產業零組件不可或缺之利器。然而，目前市面上五軸工具機配套方案不盡完善，缺乏快速且量化之分析工具，無法快速評價設備穩定性優劣。此外，設備使用歷程狀態難以追溯，不易溯源追査肇因而縮短售服時間。五軸動態同步響應分析技術，滿足工具機五軸動態同步響應之調整需求。透過軟體模組自主擷取各軸向之動態迴授速度數據，導入自動參考軸搜尋功能搜尋五軸中動態響應最差之軸向定義為參考軸，並自動產生其他4個軸向之4組對比於參考軸之迴授速度對比圖譜，提供五軸動態同步響應特性可視化工具。五軸設備性能監管技術，透過週期性暖機流程來收集機台設備之動態響應數據，經由數值統計分析與可視化方法顯示軸向伺服動態響應之變異趨勢，能警示機台是否發生動態響應變異，提醒使用者進行檢修，避免不良品的生成，並提供不同時間戳記之數據進行分析比對，來查找影響加工精度與機台動態響應的問題主因。

作者:呂建興全球寬能隙半導體設備產業的機遇與挑戰

碳化矽(SiC)作為第三類半導體材料，在電動車、5G通訊等領域潛力巨大。目前，國際大廠主導設備市場，臺灣面臨技術與成本挑戰。本文分析全球碳化矽半導體製程設備趨勢，聚焦單晶生長、薄膜沉積、精密加工與檢測等關鍵技術。針對臺灣，建議發展自主知識產權、推動產學研合作、強化國際鏈結，以提升在全球供應鏈中的競爭力，把握產業發展機遇。

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