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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:賴識翔、林義鈞高阻水氣薄膜封裝技術於OLED照明之應用

預估撓性OLED市場規模到2020年可達176億美元，針對可撓性有機發光二極體（organic light-emitting diode,OLED）元件最關鍵之技術在於低水氣穿透率（water vapor transmission rate, WVTR）的封裝奈米薄膜製程上。工研院機械所提出創新的薄膜封裝製程設備概念，以原子層沉積技術製作高阻水氣之奈米級薄膜，其製程溫度小於100C，且薄膜厚度小於100 nm，其水氣穿透率小於5×10-6 g/day/m2，並已成功應用於OLED元件上。

作者:陳冠州、黃智勇氣體噴灑模組於光電鍍膜設備之應用

國內光電及半導體產業發展已累積有40 年的歷史，其上、中、下游產業結構已相當完整，是我國持續發展推動的重點產業，亦是全球創新研發的新契機所在。光電半導體之真空CVD鍍膜為其重要的關鍵製程，其設備中使用之氣體噴灑模組更是為其關鍵零組件，攸關腔體內製程氣體之層流均佈而使薄膜能均勻沉積，並掌握鍍膜的品質與良率。本文針對各種氣體噴灑模組應用於CVD鍍膜設備之型式及設計加以探討，並介紹工研院機械所開發之氣體噴灑模組研發技術現況，以期協助國內建立光電半導體鍍膜設備產業與其關鍵零組件之發展，奠定「技術產品國產化、產業價值高值化」的發展目標。

作者:李建霖、王亘黼、蔡坤諭、錢盛偉、蔡佳勳、董福慶、王慶鈞氦離子束檢測技術簡介及其於高深寬比結構鍍膜製程研發之應用

目前的掃描電子顯微鏡技術存在著一些性能上的限制。在奈米等級結構上，影像解析度通常受限於樣品相互作用的體積，而不是實際的聚焦點大小。使用較高能量電子束或較大質量的粒子束源雖然可以減少散射的影響，但隨之而來的副作用，如更大的樣品相互作用體積及大量分散的粒子源能量使影像解析度仍舊無法提升。近年來，氣體場離子源研究的進展使得以輕惰性氣體離子作為離子源的顯微設備得以實現，有助於奈米等級結構的檢測及相關製程研發。本文將針對氦離子束檢測技術及高深寬比結構鍍膜技術進行介紹。

作者:黃家宏、朱繼文、邱松茂、張凱傑、王俊傑、魏嘉民網球拍射出模具表面抗沾黏處理

台灣的網球拍產業，從民國50年代開始替國外代工木製的羽毛球拍開始，經歷鐵拍、鋁拍的階段，1978年由從國外引進碳纖維複合材料，開始製造碳拍之後，短短的幾年間，不但淘汰了木製球拍，改變了世界網球拍的產銷結構，成為網球拍王國，而且奠定了台灣在全球複合材料加工技術上重要的地位。在這個打造網球拍王國的過程中，從一開始因緣際會引進一些簡單的複合材料的加工概念，接著在一群技術英雄幾近土法煉鋼的努力開發下，發展出一套最具競爭力的滾筒纏繞法（filament drum winding）用以製造預浸布，再用獨創的吹氣熱壓成型（inner bladder pressure molding）的方式量產球拍，吹氣熱壓成型時膠體會因高溫與模具沾黏，因而影響射出品質。

本研究利用直流磁控濺鍍法在SKD61熱作工具鋼上沉積Ti基鍍膜並加入耐高溫如鎢、鉭、鋁等原子並通入反應性氮等氣體，利用SEM、GID-XRD以及TEM對薄膜的表面形貌、晶體結構及化學鍵結進行分析，最後再以熱反覆實驗測試鍍膜的熱穩定性。結果顯示，Ti基高溫鍍膜能有效提升SKD61基板之耐熱穩定性，經過線上實測在500 ℃溫度下，熱反覆實驗達500次不需使用離形劑可提升稼動率及產品品質。