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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:陳冠州、王慶鈞氣體噴灑模組之可靠度工程技術

真空CVD鍍膜為光電半導體之重要關鍵製程，其設備中之氣體噴灑模組更是為其關鍵零組件，攸關腔體內製程氣體之層流均佈而使薄膜能均勻沉積，主導掌控鍍膜的品質與良率。本文探討氣體噴灑模組於產品設計、製造與組裝的過程中，導入可靠度工程技術，找出可能發生故障的原因。透過故障分析手法提升氣體噴灑模組的可靠度，更進一步探討困難的萬支細管真空焊接問題，藉此可靠度的工程技術增加國產MOCVD關鍵零組件的附加價值與國際競爭力，達到國際先進高階設備/零組件的技術水準。

作者:葉錦清2017高科技設備產業回顧與展望

2017年由於快閃記憶體（NAND flash）與動態隨機記憶體（dynamic random access memory, DRAM）缺貨，帶動半導體營收提昇。而半導體設備則是受到半導體成長的影響，估計2017全球半導體設備產值將達696億美元，相較於2016年成長29.2%。這波成長趨勢將持續到2018年，但成長趨勢會趨緩，估計2018年半導體設備產值將成長4.4%。

在2016年下半年開始，韓國廠商傾全力資源投入主動矩陣有機發光二極體（active matrix organic light emitting diode, AMOLED）顯示器生產研發，中國大陸廠商亦大規模投注資金。蘋果公司智慧型手機之規劃導入採用主動矩陣有機發光二極體，也帶動相關製造設備的成長。UBI Research原本估計2017~2021年之間，有機發光二極製造設備市場預估為439億美元，因為廠商的大舉投入，而將預測調高為849億美元。

作者:黃家宏、朱繼文、邱松茂、張凱傑、王俊傑、魏嘉民網球拍射出模具表面抗沾黏處理

台灣的網球拍產業，從民國50年代開始替國外代工木製的羽毛球拍開始，經歷鐵拍、鋁拍的階段，1978年由從國外引進碳纖維複合材料，開始製造碳拍之後，短短的幾年間，不但淘汰了木製球拍，改變了世界網球拍的產銷結構，成為網球拍王國，而且奠定了台灣在全球複合材料加工技術上重要的地位。在這個打造網球拍王國的過程中，從一開始因緣際會引進一些簡單的複合材料的加工概念，接著在一群技術英雄幾近土法煉鋼的努力開發下，發展出一套最具競爭力的滾筒纏繞法（filament drum winding）用以製造預浸布，再用獨創的吹氣熱壓成型（inner bladder pressure molding）的方式量產球拍，吹氣熱壓成型時膠體會因高溫與模具沾黏，因而影響射出品質。

本研究利用直流磁控濺鍍法在SKD61熱作工具鋼上沉積Ti基鍍膜並加入耐高溫如鎢、鉭、鋁等原子並通入反應性氮等氣體，利用SEM、GID-XRD以及TEM對薄膜的表面形貌、晶體結構及化學鍵結進行分析，最後再以熱反覆實驗測試鍍膜的熱穩定性。結果顯示，Ti基高溫鍍膜能有效提升SKD61基板之耐熱穩定性，經過線上實測在500 ℃溫度下，熱反覆實驗達500次不需使用離形劑可提升稼動率及產品品質。

作者:簡士凱、陳信助、蔡國騰、王雍行、李閔凱雷射金屬沉積直接成型螺桿技術

雷射金屬沉積(laser metal deposition, LMD)為一種基於雷射應用的積層製造方式，可廣泛應用於金屬品製造、金屬披覆、高價值金屬品重建及功能性零組件製造。而雷射金屬沉積製程包含各種複雜參數，如雷射能量、光斑直徑、披覆路徑方式、粉材供粉量、雷射移動速度及氣體流量。然而這些製程參數往往會因材料、雷射金屬沉積設備與操作環境的不同而有所差異，仍需面臨材料性質與製造精度的挑戰。因此需要透過加法與減法加工之多功能複合製程方法，並整合CAD/CAM軟體以滿足應用與製造需求。本文將針對雷射金屬沉積直接成型螺桿製程中，所使用的加值型CAD/CAM客製化系統、沉積製程研究及其應用進行介紹。