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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:張隆武、方彥博、劉建聖、陳昱達、林威辰雷射源微型精密構裝與檢測技術應用

本研究提出一款新型非接觸式光學量測系統，用於雷射源微型精密構裝線性位移平台六自由度誤差量測，相較於市售光學量測儀器，如雷射干涉儀與自動視準儀等，此量測系統具有同時量測線性軸六自由度誤差和低成本的優勢。整體量測系統係由一個雷射源、兩個立方體分光鏡、兩個平面反射鏡及三個位置感測器所組成。利用歪斜光線追蹤理論與一階泰勒展開，建立當量測系統具有六自由度幾何誤差時的數學模型，最後建立實驗室雛型品，實驗結果顯示，本量測系統位移重複精度為±0.6 μm、角度重複精度為±0.2 arcsec，再搭配雷射干涉儀的實驗比對，實驗結果顯示整體量測系統精度在位移為±1 μm、角度為±0.2 arcsec，量測行程為6 mm。

作者:劉東昇、洪揚、陳世昌雷射量測與演算法於精密定位之應用

雷射干涉儀受到很多因素影響其精度。拜現今科技進步所賜，雷射干涉儀遇到之難題已得到很大的改善，現在已成為市面上可提供高精度與高解析度的儀器。

工業各大領域在使用精密機械上要求精度越來越高，不論是工具機產業、面板產業、封裝製程等，例如因為關鍵尺寸需求勢必得開發大行程精密定位平台，由於大行程大跨距導致的累積誤差往往使定位過程達不到需求，在此引入雷射干涉儀配合傳統的光學尺使用抑制阿貝誤差。

本文發展雙回饋量測補償技術，取得回授資訊並計算控制推力達到閉回授控制，藉由切換粗細定位達到高精密定位的需求。