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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:黃振榮、陳孟群、李侃峰、曾奕凱黏晶用精密定位平台技術與應用

針對高精度面板級封裝的貼合設備開發所需之精密定位平台，具備精密黏晶製程所需的定位精度、重複精度、平台剛性與高速動態特性。此二軸的精密定位平台，工作行程650 mm x 650 mm，達到定位精度±1.0 μm、重複精度±0.5 μm、側向傾倒小於2 μm/300 N的規格，可搭配高剛性支撐架構，進行高壓合力之精密黏晶製程。