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作者:馬寧元、李新中精微壓力感測器之工業應用與市場發展與趨勢

作者:林長毅滲碳熱處理的明日之星─真空滲碳

作者:林衍志、林士凱、林長毅真空熱處理技術與應用

真空熱處理（Vacuum Heat Treatment）是目前台灣熱處理業界的主要技術，應用對象涵蓋了模具、刀具、工具、零件等之退火、硬化、固溶與時效、硬銲等製程。有別於早期的鹽浴爐與氣氛爐，真空熱處理是在抽除空氣後，讓被處理物在氮氣的保護下進行升溫與持溫，然後採用高壓氣淬或油冷方式急速冷卻，達到麻田散鐵化的目的，因此被處理物的表面具有金屬光澤。由於作業環境佳、品質的再現性穩定與被處理物的色澤優良，因此已成為刀、工、模具的主要處理方式；由於真空熱處理的應用領域相當廣範，無法逐一詳述，本文謹就模具類的應用領域，說明真空熱處理的特點、應用範圍與生產上常遭遇的問題點。

作者:陳品均、林志浩、林奕成多軸驅動伺服沖床之應用與發展現況

多軸驅動伺服沖床除了可提高伺服沖床的最大出力極限，另外對於沖鍛零件的成品品質、與模具的使用壽命，具有關鍵性的影響。本文一開始先簡略介紹伺服沖床之發展背景，並於之後的章節介紹了台灣尚未投入研發的多軸驅動伺服沖床之國際產業發展現況。期望藉由分享本文由多方蒐集、彙整之內容資料，增加國內相關產業對於多軸驅動伺服沖床之認識，並促進相關單位與廠商加速投入其研究與開發之腳步。

作者:林俞廷、王心德、鄭淙仁精微沖床設計分析探討

精微沖床乃屬於連續沖擊式加工設備，因應3C產業發展蓬勃，如光電及數位硬體相關的零件，其精細複雜形狀的金屬零件需求日增，尺寸精度與特徵精度要求將伴隨提高至微米等級以上，其設計與組裝方式要求都有別於傳統中大型沖床。由於精微沖床精度好壞，將直接影響模具使用壽命、產品精度及產線成本等，如何提高精微沖床設備之精度與性能，將是未來發展精微成形領域主要關鍵技術之一。影響精微沖床的主要因素可概括為動態精度與靜態精度，靜態精度高低對於設備承受負載力時，其機身受力產生之彈性變形量的大小，其影響因素主要取決於沖床機身、滑塊、傳動連桿及台盤等剛性值，其剛性值可參考JIS沖床規範；動剛性精度高低在於設備進行動態加工時，其滑塊下死點精度重覆性之可能，影響主因大多為機身震動或是當沖床運動件受負載時的彈性變形量等。

一般而言，沖壓產品精度程度，不外乎採用具有高精度等級的沖床，並取決於模具的加工精密程度，因此，精度要求更佳的精微成形來說，除高精密模具設計與加工影響外，沖床能否相對應達到高剛性需求、抗偏心負荷能力、提高機態作動平衡特性及動態剛性等，將顯得極為重要，於本文中，將以欲開發之四點式連桿沖床進行設計與相關分析評估。

作者:陳泰宏、賴豊文、劉志宏應用實驗設計法探討電漿蝕刻Polyimide之研究

應用實驗設計法探討噴射式常壓電漿系統（Atmospheric Pressure Plasma Jet, APPJ）其製程參數對於PI薄膜蝕刻效應之影響情形。以電漿功率及氣體流量為蝕刻效應之較大影響因子，此兩項參數直接決定常壓電漿內活性粒子濃度及電漿束穩定均勻性。由AFM及SEM可以發現，APPJ獨特進氣設計使其電漿束能量集中處理後，其表面形態產生微粗糙化；APPJ亦使表面極性鍵結增加進而親水特性增加。APPJ即利用電漿產生之活性粒子破壞薄膜表面之有機基團，使其產生反應形成CO、CO2或是水氣而揮發至環境中，造成高分子鏈分解，形成蝕刻的效果。

作者:林俞廷、黃仁龍、鄭淙仁、陳品均、謝文太探討成形設備之精密沖床動態分析與頻譜量測比較

近年來3C產業發展日趨蓬勃，舉凡個人攜帶型電子及數位傳輸設備等零件，因應使用者需求劇增情況下，精密零件需求量大增，而沖床一直是被廣泛應用於大量生產相關精密零件的高速工具機。一般而言，影響沖壓產品精度程度，除取決於模具的加工精密程度，沖床能否相對應達到高剛性需求、抗偏心負荷能力、提高機台作動平衡特性及動態剛性等，將顯得極為重要。

尤其在高速沖壓時，沖床作動速度通常可達到400 s.p.m以上，甚至可高達600~1000 s.p.m，在這樣高速作動下，設備內相關運動的桿件，便會因為其本身具有質量屬性下，伴隨加速度的增加衍生出慣性效應。該效應會產生往復作用力，倘若機身剛性不佳或是未有動態平衡裝置，往往會造成較大的機身振動或是噪音，對於精密微沖壓零件而言，易因沖床所產生振動時，將造成產品精度能否穩定控制之問題，有鑑於此，本文欲藉由動態分析軟體與頻譜分析量測，探討沖床動態特性。

作者:葉羿辰透明導電膜製程設備之整合電控技術

由於LPCVD沉積的ZnO透明導電薄膜成倒金字塔狀，其形成的薄膜表面，不利後續元件製程的製作（影響界面覆蓋性與緻密度），如矽薄膜太陽電池高轉換效率的製作。因此乃於原LPCVD製程腔體旁建立（加裝/新增）一個具有離子電漿源的Loadlock腔體，除了可增加產能（Throughput）外，並可於接近大氣壓力（Atmospheric-pressure）即常壓下進行電漿表面改質（Plasma for Surface Modification）處理，希望能將LPCVD所沉積出來的ZnO薄膜，再次施以電漿作ZnO薄膜鈍化（Passivation）處理，使其表面較為圓滑平緩而利於元件的品質，故本文技術乃將兩個製程設備之整合電控技術作簡單介紹。

作者:梁沐旺、林士欽、江源遠低壓化學氣相沉積應用技術

本文主要是介紹低壓化學氣相沉積設備與高鍍率製程技術，乃藉由氣體擴散裝置（showerhead）及前驅物氣化裝置，經製程參數的設定調整，如調控壓力、基板溫度、基板與噴灑曝氣板（showerhead）距離設定、前驅物DEZn /H2O /B2H6、鍍膜時間…等，驗證使BZO透明導電膜鍍率達120 nm/min以上時，薄膜其霧度約20 %（波長550 nm），片電阻值＜10歐姆/sq，透明度80 %以上（波長400－800 nm），膜厚不均勻性小於10 %。

作者:洪啟銘、吳雁平、陳俊傑鋁合金氣壓閥體真空壓鑄模具CAE模流分析

鋁合金壓鑄製程中使用真空設備抽氣來對降低壓鑄品氣孔缺陷的發生有絕對的影響，尤其是在使用針對耐壓性防洩漏，材質為ADC10的氣壓閥體產品而言更是重要。一般而言壓鑄製程之射出條件參數為射出壓力、射出速度、低速切換高速位置、離型劑使用等參數與從事生產鋁合金壓鑄產品品質的等級有相當關係。本研究目的在設計壓鑄模具中導入電腦CAE技術來分析流動模式，驗證在真空壓鑄製程下所設計澆流道系統是否合理，以與成本，藉而提高壓鑄產品的良率。

作者:陳品均、林俞廷、鄭淙仁、魏江銘伺服沖床之自由曲線功能研究

伺服沖床具有不同加工曲線的特性，可改善金屬工件的品質、成形性、與量產性。然而，目前許多已有自由曲線功能的伺服沖床，對使用該功能的操作者而言，其操作過程並不直覺與便利，特別是操作者要自行定義加工曲線的狀況。本研究提出一種針對機構式伺服沖床的控制系統設計。該控制系統具有開放式架構的控制器、與即時作業系統。此控制系統搭配自行開發的控制程式，提供了一個方便使用的自由曲線功能。在本系統中，伺服沖床的操作者可透過友善的圖形化操作介面，直覺地調整所需要的加工曲線；接著控制系統會自動地根據B樣條曲線理論，將上述之加工曲線轉成馬達的速度命令。如此伺服沖床的馬達可平滑地運轉，並驅動滑塊進行預期的加工曲線。在本文的後段，我們也將展示實際的測試結果比較。藉由應用本研究成果於伺服沖床上，操作者將可更容易地自行定義所需要的加工曲線。

作者:蘇濬賢、楊國煇、蔡陳德、張瀛方、翁志強大氣電漿大面積薄膜沉積技術

電漿技術發展至今已廣泛應用於各產業，特別於光電產業之製程應用為最；然而，習知的電漿技術需於真空環境下進行，對於欲處理之工件會受限於真空腔體之尺寸大小。本文乃介紹工研院機械所於大氣壓電漿（Atmospheric Pressure Plasma，APP）製程設備技術之開發及其應用，內容包括大氣壓電漿技術之特色與比較、電漿機構設計與分析模擬及針對大面積薄膜沉積於光電產業之應用。

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