作者:林汶宥、王森茂、姚福財、蕭文澤超快雷射於鈦金屬表面生成微/奈米結構之探討
超快雷射技術具備低熱傳導、極低之熱影響區、高加工解析、多光子非線性吸收及加工尺度達次微米等特性,可廣泛應用於各種材料之微/奈米結構生成。本文使用皮秒綠光超快雷射於鈦金屬材料表面生成微/奈米結構,其雷射光波長為532 nm,脈衝寬度<15 ps,平均功率>8 W,脈衝頻率200 kHz。
藉由參數調變探討微/奈米結構生成之影響,調變參數包含雷射脈衝能量(5 μJ、15 μJ、20 μJ及30 μJ)與掃描時間(12.3 s、36.9 s)等。依據測試結果發現在雷射脈衝能量5 μJ時,可以在鈦金屬表面生成週期性結構,其結構間距與雷射波長532 nm相同。當改變掃瞄時間,在低脈衝能量時(5 μJ)表面結構不會有太多改變,唯有在微結構的表面會生成一些極微小的顆粒;而將雷射脈衝能量提高至30 μJ時,可在表面生成微/奈米結構。