作者:李永春、溫宗倫曲面光束筆微影技術應用於網格結構之無縫滾筒模仁的製作與滾印結果
本研究自行發展一無光罩式（mask-less）曲面光束筆微影技術，用於製作具網格結構之無接縫滾筒模仁。首先以自行架設之噴塗系統將稀釋光阻以霧狀型態均勻噴塗於直徑5 cm、長15 cm之金屬滾筒模仁；接著利用準分子雷射加工微透鏡（micro-lens）陣列，進行黃光微影蝕刻製程於微透鏡陣列上製作一維圓形開孔，藉由這一維圓孔微透鏡陣列將UV平行光聚焦成一微小光點，並搭配精密轉軸以及高精度平台於光阻層書寫網格以及任意圖形，再以顯影液去除額外部分；之後利用等向性蝕刻特性壓縮線寬同時將光阻圖形轉移至金屬模仁上，最後利用電解拋光改善模仁微結構的粗糙度，即成功地完成具網格結構之無接縫滾筒模仁。本研究所製作之無縫滾筒模仁可配合UV光固化滾印，快速、連續且大面積的滾印出具網格結構圖形的PET模片。