作者:陳柏志、張存均、林正軒、林建羽高靈敏度磁感測技術研究
本文旨在開發高靈敏度磁感測技術，以突破現有磁感測器的性能限制，並拓展其在各領域的應用。以高靈敏度為開發目標，透過對於現有感測器的理論分析、材料結構與實驗設計，發展創新的技術，以達成高靈敏度磁感測技術。運用基於磁穿隧接合堆疊結構與磁通量導引結構等技術，所研究的感測器在室溫零場下的靈敏度高達4.66×104 %/mT，偵測率估計在1 Hz時約為23 pT/Hz1/2，100 Hz 時為2.3 pT/Hz1/2。整體而言，所研究的磁阻感測器在室溫高靈敏度低場測量方面具有巨大的應用潛力。本研究成果將有助於推動磁感測技術在汽車工業、導航、生物醫學、材料科學等領域的應用。