作者:林明賢、謝宗翰基於質數的組合多步階量測方法用於真圓度量測
本文使用兩個質數進行組合多步階量測方法實驗，將真圓度及真圓度量測儀器的誤差進行分離，並以傅立葉級數進行分析。可以透過較少的量測次數，利用傅立葉級數進行誤差分離。組合兩步階量測結果，分別為2步階和5步階，兩個數值皆為質數，直到第（2 × 5）個傅立葉級數分量才無法分離真圓度量測儀器誤差和真圓度。與傳統的量測方法比較，傳統方式量測次數為10次組合多步階量測方法量測次數為（2 ＋ 5 -1）即6次，此方法提供更少的量測次數即可分離真圓度和真圓度量測儀器誤差，量測結果顯示差異僅為1.7 nm。