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作者:董福慶、賴識翔、王亘黼長壽命色溫可調變OLED照明技術

OLED ( Organic Light-Emitting Diode ) 的技術發展下，色溫可調變OLED照明元件，其光色與色溫可以像太陽光一般，從黎明低色溫變化至正午豔陽的高色溫，且不同於LED以窄波段藍光為主色調發光。OLED的發光體從深紅光至深藍光，均可獨立運作；在結合高波段發光體之後，其發光光譜類似黑體輻射之連續寬廣的光譜，色域可涵蓋整個黑體的輻射發光曲線，不需像LED額外藉螢光粉來調整光色。本文就色溫對人的影響與長壽命色溫可調變OLED及薄膜封裝技術發展進行介紹。

作者:王亘黼、董福慶、林士欽、田春林脈衝離散注入法及原子層沉積技術之半導體薄膜製程應用

半導體製程朝向微小線寬發展，使薄膜沉積技術亦往原子等級奈米堆疊邁進，並需達到高保形性、優良均勻度、以及深入孔隙結構等特質，成為薄膜披覆重要的製程能力。本文將介紹工研院機械所開發之鍍膜設備，以沉積原子層薄膜技術，搭配脈衝離散注入方法改善膜層披覆品質；在氧化鋁(Al2O3)鍍膜條件，於每循環沉積0.69 Å厚度之速率下達到不均勻度±2.3 %良好鍍膜效果，同時透過結構應力分析驗證薄膜特性適合應用在製程中，滿足先進半導體薄膜製造之產業應用規格。

作者:王亘黼、黃智勇電漿薄膜沉積預測與應力分析模組技術

作者:王亘黼、董福慶、賴識翔原子層沉積多成分薄膜填孔與封裝應用

新興相變化記憶體製程朝向多成分薄膜以及縱深填孔技術發展，亟需高深寬比多層數之保形披覆先進奈米薄膜，以因應高容量、高密度電子元件之需求。現有之高速高容量晶片使用物理氣相沉積法沉積薄膜，遭遇高深寬比(10:1)、多成分精準度及鍍膜均勻性困難。然而，綜觀薄膜沉積技術，唯有原子層沉積可生產高度保形膜層。本文將介紹工研院機械所專利之低溫(< 100°C)原子層鍍膜設備，同時導入多模態離散注入前驅物質技術，提升鍍率以及孔隙深入能力，有效達到多成分薄膜填孔均勻性之產業應用規格。

作者:李建霖、王亘黼、蔡坤諭、錢盛偉、蔡佳勳、董福慶、王慶鈞氦離子束檢測技術簡介及其於高深寬比結構鍍膜製程研發之應用

目前的掃描電子顯微鏡技術存在著一些性能上的限制。在奈米等級結構上，影像解析度通常受限於樣品相互作用的體積，而不是實際的聚焦點大小。使用較高能量電子束或較大質量的粒子束源雖然可以減少散射的影響，但隨之而來的副作用，如更大的樣品相互作用體積及大量分散的粒子源能量使影像解析度仍舊無法提升。近年來，氣體場離子源研究的進展使得以輕惰性氣體離子作為離子源的顯微設備得以實現，有助於奈米等級結構的檢測及相關製程研發。本文將針對氦離子束檢測技術及高深寬比結構鍍膜技術進行介紹。

作者:王亘黼、董福慶、陳冠州現址式粉塵洗滌捕集裝置

高科技產業及工業製程技術日益進步，懸浮微粒等汙染物質排放量亦隨之增加，對人體健康與自然環境造成嚴重威脅。研究指出細懸浮微粒尺寸若趨微小，其深入人體組織和細胞結構之能力越強，易引發氣喘、心血管疾病及癌症等健康風險，儘管現行濕式洗滌設備可去除部分污染物，但對於細微顆粒的捕集效率仍有極限。因應全球淨零碳排趨勢與環保法規日益嚴格，企業面臨更高的減排責任，本文介紹工研院機械所開發之現址式粉塵洗滌捕集裝置，結合文丘里效應水霧噴洗和多層套管旋風集塵技術，有效去除91%之PM3懸浮微粒，不僅提升現有尾氣處理設備效率，更實現企業兼顧獲利與善盡社會責任的目標。