作者:陳冠州、梁金興、王政元LED光電製程設備之自動取放技術
LED光電製程設備之自動化導入，其中晶圓基板之取放為最基本且重要的關鍵技術。目前台灣的固態照明光電產業上、中、下游製程設備均具備單機化的自動機台，唯獨進出料之取放片還需仰賴人工，不僅耗時且破片風險高，未來隨之LED晶圓尺寸變大及薄化的趨勢，自動化取放與傳輸為必然需求。本文探討介紹光電製程設備中常用的取放機構之夾爪類型，另也針對大尺寸之4吋LED藍寶石晶圓進行夾持取放機構設計與電腦模擬分析，以提昇晶圓取放穩定度及控制取放品質。最後說明國內目前固態照明光電產業之製程設備自動化關鍵技術與其發展現況。