作者:季宇文、胡恩蘭、黃昆平大面積石墨烯電極成長技術
機械所石墨烯團隊致力於開發高品質石墨烯的儲能電極,透過開發大面積電漿輔助化學氣相沉積(PECVD) 設備成長: 使用 915 MHz 微波電漿火炬機台(915 MHz Microwave Plasma Torch, 915MHz MPT),可有效成長出面積達15 cm X 15 cm 的石墨烯電極,其品質優異(2D/G >0.85) 且均勻性可達95% 以上。915MHz MPT 具有高密度電漿、成長快速及系統穩定等優點,適合用來成長石墨烯儲能電殛,本團隊將石墨烯電極應用到有機相的超級電容上,經測試其工作電壓最高可達4.2V,明顯優於商用活性碳2.8V 之系統。