作者:陳鑾英、張高德、鄭陳嶔、陳奕均晶圓級LED全光通量檢測技術
為了提升晶圓階段LED特性檢測速率,同時平行檢測電特性及光特性是必要手段。非成像的集光器陣列可用來同時收集晶圓上多顆LED的光學特性。為了能夠匹配光纖數值孔徑(NA)以及來自LED之朗伯光源發散半角,在本研究中討論反式角度轉換器(reversed angle transformer, RAT)之設計使用。並利用商用光學模擬軟體LightTools®,根據Monte-Carlo光線追跡方法進行模擬設計。藉由模擬幫助,可以發現入口處可收集接近94 %的朗伯輻射光源能量,反式角度轉換器的收集比例接近99 %。