作者:陳家全、齊孝定、蔡沐恭、吳昀芳、陳引幹、林岑盈、吳秉翰、張光博飛秒脈衝雷射低溫成長CIGS:Na薄膜於軟性基板之應用
利用飛秒脈衝雷射沉積(Femtosecond pulsed laser deposition, fs-PLD)可以在低溫(≤ 300°C),一次性的成長出具有良好結晶性的銅銦鎵硒(CuInGaSe2,CIGS)薄膜,此製程溫度適合把CIGS沉積在高分子的polyimide (PI)軟性基板。目前,許多研究觀察到以鈉(Na)玻璃(soda lime glass)當作基板時,在高溫製程中會發生微量的Na元素擴散至CIGS吸收層,可提升太陽能元件的效率;然而,將CIGS成長在高分子基板是沒有辦法提供Na元素,所以本研究利用自行製作添加Na元素(5 at%)的CIGS靶材來解決此問題,使用單一個靶材成長摻雜Na元素的CIGS薄膜(CIGS:Na),從霍爾(Hall)電性量測觀察到可以增加載子濃度及導電率,這將有利於提升太陽能電池效率。