作者:賴識翔、鄭皓蓬、林義鈞、董福慶、唐謙仁、韓建遠薄膜光學特性之分析模組技術
近年來，OLED相關產業快速發展，薄膜材料、元件結構及薄膜厚度等皆會影響OLED元件的特性，其中對於薄膜厚度精準度的要求，需搭配不同量測系統來進行監測。除了傳統採用石英振盪式膜厚監控系統監測鍍膜速率與膜厚變化外，我們開發具有高準確性的光學薄膜檢測方法來監控薄膜特性的變化，此法具有量測速度較快、非接觸薄膜表面與非破壞薄膜結構等特性，未來可將該模組裝置於真空鍍膜腔體上，使真空鍍膜設備具備即時測量薄膜光學特性的功能，可優化鍍膜製程及進行薄膜品質監控。