作者:陳世昌、孫彥碩、劉東昇、 曾炫凱智慧結構多軸次微米主動抑振模組技術
本論文針對一般精密製程所需之隔振技術作一介紹，首先介紹微振動的現象以及對精密製程之影響，並說明一般精密設備常用的微振動準則；在國內外主動隔振技術競爭力分析部分則簡要說明國內主動隔振技術的發展現況，以及國外較具競爭力的業者，其長期佔有技術優勢的原因；接下來的章節，則開始介紹主動隔振以及智慧結構技術發展簡介及必要性，以及多軸主動隔振模組之架構設計及相關元件之特性與選用；最後以一個精密檢測設備之振動測試為例，說明該設備之微振動等級的現況，並分析未來整合多軸主動抑振模組之後的預期效益評估。