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作者:呂建興
智慧檢測賦能異質整合:AI驅動的半導體先進製程缺陷檢測技術發展
隨著半導體技術邁向奈米級結構與三維(Three-Dimensional, 3D)先進封裝及異質整合,傳統缺陷檢測和量測方法面臨極限挑戰。本報告分析全球半導體市場趨勢與製程設備競爭格局,探討3D 先進封裝對高解析度檢測的需求,並聚焦於AI 驅動的非破壞性檢測技術創新。建議未來發展方向應朝向高解析度、多模態整合與AI 自動化,以實現檢測角色從「找問題」轉變為「預測、優化、決策」的智慧化核心,進而提升半導體元件的可靠性並縮短製造週期。
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