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技術諮詢

面板級封裝高深寬比全濕式完整解決方案 2025/03/21

 

簡介 Introductions

透過超高深寬比金屬化填孔技術、高深寬比雷射改質及蝕刻技術,提供面板級封裝材料與設備國產化完整解決方案。

By leveraging high aspect ratio metallization and filling technologies, along with laser modification and etching processes, this solution provides a comprehensive domestic supply of materials and equipment for panel-level packaging.

特色與創新 Characters and Innovations

  • 開發AR≧15高深寬比電鍍製程與設備,填孔技術由AR 8→15,並透過高附著力晶種層技術取代PVD技術,降低製程與設備成本,亦能提高產品良率>99%。
  • 高效能、高良率晶種層沉積與填銅技術,確保TGV高導電性與低缺陷率。
  • 完整國產化材料與設備整合方案。
面板級封裝高深寬比全濕式完整解決方案
面板級封裝高深寬比全濕式完整解決方案

應用與效益 Applications and Benefits

  • 透過雷射改質鑽孔、濕式晶種層與電鍍填銅等技術,解決雷射鑽孔緩慢、晶種層沉積無法連續、填銅易產生缺陷等問題,且能大幅降低製程與設備成本達50%。
  • 高深寬比(AR>15)TGV製程技術,適用2.5D/3D IC封裝、高頻通訊、PLP面板級封裝,應用廣泛並支援多種先進技術
  • 成立TGV技術研發聯盟,共同開發全濕式製程與設備,提供高深寬比玻璃基板封裝製程完整解決方案。