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先進與綠色製程設備

高算力晶片水浸潤式冷卻散熱系統 2026/06/06

簡介 Introductions

傳統風冷與液冷散熱技術難以應對單晶片 2,000 W 的熱管理需求,且液冷技術仰賴冷卻水循環與複雜管路,增加洩漏風險與維護難度,其電力使用率 PUE (Power Usage Effectiveness) 仍高。數據中心與高效運算環境中,極需確保長時間穩定運行並降低 PUE,減少能耗與營運成本。

技術優勢及特色

微流道高效散熱

  • 精密微流道結構,大幅提升散熱效率。
  • 高達 50,000~100,000 W/m-K 導熱係數 ( 一般為 500~10,000 W/m-K 導熱係數 )。

環保設計減少汙染

  • 單一微型幫浦功耗僅 12 W( 一般為 20~30 W)。
  • 有效降低數據中心 PUE 值 ( 接近 1:1)。

超低PUE長時低功耗運行

  • 直接使用自然水作為冷卻液,減少運轉成本及防止設備損壞。
  • 避免傳統氟化液污染環境。

產業應用及商機

  • 可應用產業
    • 高算力晶片散熱 (AI 伺服器、高效能運算 HPC)、數據中心液冷技術 ( 高密度機櫃 )、半導體設備散熱 ( 晶片測試、先進封裝 )。
  • 應用實例
    • 與台灣前幾大半導體公司與數據中心合作,成功應用於千瓦級高性能晶片系統,透過水浸潤冷卻技術,將整體 PUE 降低至 1.015,確保千瓦級 AI 晶片在長時間運行下仍可維持 30℃低溫,提升系統運算效能與可靠度,降低數據中心能源成本,並實現低碳排放。

客製化檢測設備開發

  • 依製程需求,客製化多功能光學模組及客製化量測程序。
  • 內建2D/3D多參數分析引擎、即時平行運算、視覺化顯示。

產業應用及商機

  • 可應用產業
    • 先進封裝、AI伺服器讀寫頭封裝、Mini/Micro LED封裝、面板級封裝、矽光子。
  • 應用實例
    • 先進封裝(CoWoS)及5G Filter製程關鍵尺寸/疊層對位檢測、AI伺服器熱輔助磁記錄(HARM)製程6自由度座標檢測、Mini/Micro LED封裝填膠檢測、面板級封裝(PLP、CoPoS)翹曲及缺陷檢測、矽光子探針陣列共面度檢測。

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