先進電漿製程檢測與優化系統 2025/10/14

• 可即時量測電漿製程中的電漿特性參數，如電漿密度等關鍵參數。
• 可完整反映製程腔體中不同位置的電漿行為，將有效協助製程優化、故障診斷與設備維護。

技術特色

透過多點位置的感測元件佈局，即時量測電漿特性參數，提升製程穩定性與產品良率。

解決方案／應用案例

此技術將能應用於電漿清潔程設備中，能大幅提升製程控制精度、穩定性與最終產品良率，並有助於縮短製程開發週期與降低生產成本。