2025.01.20先進綠能

半導體尾氣處理設備預警平台

半導體製程中會產生許多黏稠性有毒生成物（粉塵），須經由尾氣處理系統排出製程腔體，然而黏稠性粉塵會造成真空抽氣設備磨損或堵塞，使得腔體真空度不足，造成晶圓汙染報廢等重大損失。本預警平台可監測並管理尾氣處理系統，有效減少設備失效及工安意外發生。