2023.07.11先進綠能

薄膜製程優化模擬器與設備技術

目前精密鍍膜國內自主化技術正待建立，亟需解決 ALD產能慢與 PECVD薄膜緻密性低之問題，藉由多重物理耦合 結合AI技術，以降低設計模型的不確定性和搜尋最佳製程參數，協助工程師加速設定製程參數的時間，提升Time-To-Market的能力，優化縮短設備模組開發時程。