2023.07.31先進綠能

晶圓式離子能量量測模組

半導體電漿製程中，晶圓表面之離子能量大小及空間分佈情形極為關鍵。晶圓式離子能量分析模組具有19個GiEA量測單元，可用以量測晶圓上離子能量空間分佈情形。 GiEA (Gridded ion Energy Analyzer)量測單元具有低離子散射及高能量解析度能力，可大幅提升量測準確度。

2023.07.11先進綠能

電漿精準離子能量分佈控制技術

整合多重物理耦合模擬分析，包含熱傳 / 氣流 / 電磁場 / 電漿 / 化學反應等，建立電漿製程反應數據資料庫且建構電漿診斷技術，包含蘭牟爾探針、GEA 離子能量分析模組及非侵入式射頻離子診斷等，以精準控制離子能量分佈，並優化加速電漿源開發時程。