半導體尾氣處理設備預警平台 2025/01/20

半導體製程中會產生許多黏稠性有毒生成物（粉塵），須經由尾氣處理系統排出製程腔體，然而黏稠性粉塵會造成真空抽氣設備磨損或堵塞，使得腔體真空度不足，造成晶圓汙染報廢等重大損失。本預警平台可監測並管理尾氣處理系統，有效減少設備失效及工安意外發生。

技術優勢及特色

突破各廠通訊限制

• 相容世界各大廠牌設備的通訊標準。
• 可將運轉參數、狀態彙整至統一平台進行全設備監測。

潛在異常告警系統

• 尾氣處理設備運轉數值超標時即時通知。
• 使用振動分析真空泵健康狀態，故障診斷，正確率達≧85%。

健康預測與維護優化

• 可預測設備健康衰退趨勢或設備剩餘壽命，誤差<10%（業界誤差約為 20%）。
• 提供最佳化維護排程建議，讓設備壽命提升≧50%。

產業效益及商機

• 可應用產業：
  各式半導體尾氣處理設備，如：渦輪泵、乾式真空泵、洗滌器...等。
• 應用實例：
  • 本技術已透過系統整合商用於多家國內半導體領導廠商，提升 50%設備使用週期，每年減少 58%清管次數。
  • 協助國內指標型半導體設備維修業者，進行設備維修後的FQC品質標準化檢測流程建立，透過統一振動標準，使維修後的設備滿足國際品質要求，提升 50%維修速度，本技術已應用於台灣及日本廠區。