薄膜製程優化模擬器技術 2025/12/01

薄膜沉積 (緻密鍍膜) 是在材料表面上披覆薄膜的一種製程，而在複雜的奈米元件之薄膜鍍膜製程中，缺乏輔助製程的模擬分析工具 (如：溫度、氣流、壓力和電磁場等物理因子交互作用之分析)，導致無法快速找到最佳化參數，進而影響產品開發時程及經費耗損。

技術優勢及特色

可視化耦合技術

• 獨特「表面化學反應路徑決策技術」，精簡化學反應式後，再以真實數據回饋修正。
• 結合氣流場可視化及參數診斷驗證工具。

縮短設備開發時程

• 耦合出的模型結合巨量資料庫後，獲得建議最佳參數 (原需1週，縮短為2小時)。
• 參數預測準確度超過90%，縮短新產品上市時程 (原需3個月，縮短為1個月)。

提高產能與品質

• 提高機台產能。
• 提升鍍膜均勻性。

產業效益及商機

• 可應用產業：
  光電半導體產業 (如：LED、半導體、太陽能、無線通信等元件)，應用於鍍膜製程設備上 (如：MOCVD、PECVD、PVD)。
• 應用實例：
  與國內半導體設備產業 ODM 大廠合作，持續進行技術研發，以促進鍍膜設備品質完善，並期望三年內成功打入國際市場，成為國際供應體系的一環。