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研究與發展

High-aspect-ratio-wet-seed-layer-copper-via-filling-technology_01.jpg 圖片
2023.07.11先進與綠色製程設備

高深寬比濕式晶種層與銅填孔技術

結合電鍍銅藥液開發、流場分析技術、電化學分析技術與高深寬比銅電鍍治具設計等，能於深寬比15之玻璃基板上完成濕式晶種層與銅填孔製程，面銅厚度0.5 kN/m，填銅之孔隙<1 µm。
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rd-wafer-level-probe-card-technology.jpg 圖片
2023.07.11先進與綠色製程設備

晶圓級探針卡技術

開發3D陶瓷電路板及微機電探針，取代環氧樹酯探針，探針精微化容易，提高一次測試晶粒數（16 → 30或32）。結合微機電探針製程可發展模組化探針組裝技術，可將探針組裝由單根 / 次大幅提升百根 / 次以上，大幅減少組裝人力與成本。
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Thin-film-process-optimization-simulator-equipment-technology.jpg 圖片
2023.07.11先進與綠色製程設備

薄膜製程優化模擬器與設備技術

目前精密鍍膜國內自主化技術正待建立，亟需解決 ALD產能慢與 PECVD薄膜緻密性低之問題，藉由多重物理耦合 結合AI技術，以降低設計模型的不確定性和搜尋最佳製程參數，協助工程師加速設定製程參數的時間，提升Time-To-Market的能力，優化縮短設備模組開發時程。
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AI-assisted-polishing-pad-wear-estimation.jpg 圖片
2023.07.11先進與綠色製程設備

AI輔助研拋墊磨耗估測

在機器人研磨或拋光的加工過程中，往往無法線上量測研拋墊的狀態，藉由開發AI輔助研拋墊磨耗估測技術，解決加工品質不一及效率不彰的問題。
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High-precision-PCB-electrical-testing-machine.jpg 圖片
2023.07.11先進與綠色製程設備

高精度PCB電測機

全自動印刷電路板電性測試設備，為專用型治具測試，設備包含自動進出料系統，測試平台具有4組CCD進行視覺辨識。
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Plasma-precise-ion-energy-distribution-control-technology.jpg 圖片
2023.07.11先進與綠色製程設備

電漿模擬與電漿檢測技術

整合多重物理耦合模擬分析，包含熱傳 / 氣流 / 電磁場 / 電漿 / 化學反應等，建立電漿製程反應數據資料庫且建構電漿診斷技術，包含蘭牟爾探針、GEA 離子能量分析模組及非侵入式射頻離子診斷等，以精準控制離子能量分佈，並優化加速電漿源開發時程。
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High-precision-grinding-technology.jpg 圖片
2023.07.11智慧工廠

高精度研磨加工技術

高精度與高效率傳動模組，為滿足精密零件加工需求，引進美國MOORE TOOLS的工模磨床(JG)、瑞士HAUSER的座標鏜床和STUDER的萬能內外圓磨床設備，進而追求更高品質的精密加工精度。
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Rapid-Manufacturing-Atomized-Gas-Jet-Printing-Micro-Patterning-System.jpg 圖片
2023.07.11先進與綠色製程設備

快速製造之霧化氣噴印微細圖案化系統

本技術自行開發霧化氣噴印圖案化技術，透過整合超音波霧化器、精密氣流限縮模組與高精度噴印頭，使得 2D/3D 電子線路產品在初期打樣時得以快速進行驗證， 縮短目前打樣階段所需耗費的冗長驗證時間與昂貴的模具費用。
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Indoor-air-purifier.jpg 圖片
2023.03.23先進與綠色製程設備

室內空氣淨化器

本專利空氣淨化方法，屬於過濾式和光化學淨化空氣的方法，採用風扇模組吸取空間中的空氣，經由包含活性碳或是石墨烯等多孔隙材質的濾材，來吸附環境中PM2.5粉塵以及其他對人體有害的物質；透過濾材過濾後的乾淨空氣進入清淨機內的風道結構，通過TiO2/Ag和UVC-LED滅菌組件，去除空氣中殘餘的病菌，續由出風口排出，以達到徹底淨化室內空氣的目的。符合室內空氣淨化CADR值大於165m3/h使用標準。
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In-situ-scrubbers-and-dust-terminators.jpg 圖片
2023.03.23先進與綠色製程設備

現址式洗滌器與粉塵終結器

工廠產生之粉塵及有害微粒（如：PM2.5），對人體健康造成很大的威脅，然而現有水洗洗滌器無法有效去除微粒，造成空污霧霾、氣候異常。工研院創新研發「粉塵終結器」，透過微粒捕集系統（PCS），以水霧噴灑及雙層旋風分離沉降方式，讓PM2.5粉塵去除率達95%以上，平均效率增加58%，且無耗材、無化學刷洗，減少二次污染與浪費。目前已技轉廠務系統服務廠商，也促成終端使用者（竹科大廠）尾氣處理系統升級。此技術入圍2022 R&D100。
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virtual-factory.jpg 圖片
2022.08.24智慧機器人

數位雙生元宇宙智慧工廠

元宇宙智慧工廠有別於數位雙生系統，除虛實整合外，更具備人的模擬功能，同時可透過VR裝置創造使用者沉浸感與真實感。本技術已與國際電機大廠合作，針對可生產電動車用動力模組的馬達產線，透過元宇宙模擬平台技術串連AI與智慧製程，建立客戶專屬的元宇宙廠務模擬系統，超前模擬與線上即時掌握產線狀態，降低不必要的成本與提升生產效率。
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afs.jpg 圖片
2022.08.24智慧機器人

自主洗地機器人

本款服務型機器人為智慧整合平台，將移動性丶賦知丶操縱和人機交互功能結合在一些特定的目標上，適用於室內環境，特別是輔助生活丶醫院或輕工業。
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RCC.jpg 圖片
2022.08.24智慧機器人

RCC機器人次系統控制器

RCC（Robot Cell Controller）為用於機器人生產單元控制系統之單元控制器，可同時控制多種機器人並同步其動作，能以多機完成生贏製造之任務，並且能接受影像丶力量丶振動與雷射威測器等等訊號，完成更智慧化與數位化之應用，更為下一階段的主流發展技術之一。
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RobotSmith_logo.jpg 圖片
2022.07.29智慧機器人

高品質研磨製程自主化系統

RobotSmith 致力於提供機器人研磨拋光軟硬體整合解決方案。藉助自主開發軟體 EzSim，結合機器人技術、相關感測器、產業知識和人工智慧技術，使機器人解決方案更加靈活、高效和易於部署。採用虛實整合、視覺、力量及各式感測技術，將老師傅的技藝與經驗數位化並轉移給機器人，實現人類技藝經驗數位移轉，實現高品質表面處理。
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ITRIDS.jpg 圖片
2022.07.29智慧機器人

多車派車系統於封測廠magazine搬運應用

當前國內封測廠搬運magazine之機制因現場工序動態調整需求高，大多採人工搬運。本系統透過特殊夾爪設計取放magazine，同時於派車功能導入智慧動態排程，優化任務組合執行機制。能因應封測廠複雜度高的變動性工序指派需求，達成半導體封測廠magazine自動搬運。
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