前往中央內容區塊 :::
:::
  1. 回首頁
  2. 研究與發展

研究與發展:半導體

semiconductor-microwave-annealing-technology.jpg 圖片
2025.12.01先進綠能

高效率微波加熱技術

現行採用微波加熱技術，其波長可對物質直接穿透加熱，局部升溫速度快、半導體工件退火製程工作溫度較低，局部達到升溫目標的時間縮短，但在熱度均勻性的精密調控上，仍待製程控制上進一步突破。
MORE
05-Lapping-and-Polishing-Technology-for-Hard-Brittle-Materials-01.jpg 圖片
2025.12.01先進綠能

硬脆材料研拋技術

硬脆材料，尤其是碳化矽 (SiC)，在下一代半導體產業中扮演著重要角色。由於 SiC 硬度極高，加工技術門檻也隨之提高，加工時間比以往多 10 倍以上。為因應此挑戰，本技術開發特用製程和設備，提升產出效率及品質。
MORE
04-High-Aspect-Ratio-TGV-Filling-Technology-01.jpg 圖片
2025.12.01先進綠能

高深寬比玻璃基板填孔技術

高階載板採用玻璃基板取代目前高分子材料 (如：ABF、BT)，細線化與高深寬比是未來趨勢。玻璃基板具有導熱性佳、穩定性高、抗蝕性等優異特性，然而玻璃基板填充高深寬比之孔洞時，易產生孔隙與鍍膜層不均勻問題，影響產品品質。
MORE
03-Thin-Film-Process-Optimization-Simulator-Technology-01.jpg 圖片
2025.12.01先進綠能

薄膜製程優化模擬器技術

薄膜沉積 (緻密鍍膜) 是在材料表面上披覆薄膜的一種製程，而在複雜的奈米元件之薄膜鍍膜製程中，缺乏輔助製程的模擬分析工具 (如：溫度、氣流、壓力和電磁場等物理因子交互作用之分析)，導致無法快速找到最佳化參數，進而影響產品開發時程及經費耗損。
MORE
01-Plasma-Coating-and-Etching-Technology.jpg 圖片
2025.12.01先進綠能

電漿鍍膜與蝕刻技術

電漿鍍膜與蝕刻為重要半導體元件製造技術，常見問題包括如何調控設備的電漿密度、均勻性與穩定性，以及如何提升製程速率、良率，並解決製程中的缺陷與瓶頸。
MORE
12-Semiconductor-Exhaust-Treatment-Equipment-Early-Warning.jpg 圖片
2025.01.20先進綠能

半導體尾氣處理設備預警平台

半導體製程中會產生許多黏稠性有毒生成物（粉塵），須經由尾氣處理系統排出製程腔體，然而黏稠性粉塵會造成真空抽氣設備磨損或堵塞，使得腔體真空度不足，造成晶圓汙染報廢等重大損失。本預警平台可監測並管理尾氣處理系統，有效減少設備失效及工安意外發生。
MORE
07-SECS-GEM-Communication-Technology.jpg 圖片
2025.01.20智慧機電

SECS/GEM 半導體通訊技術

電子設備控制器常用於廠房的數據採集、設備監控與生產控制工作。然而，控制器廠牌及型號眾多，所提供的通訊技術並未統一，改善整合不易，需耗費更多人力與時間成本解決此類問題。
MORE
Dual-Arm-Robot-System-01.jpg 圖片
2024.12.01智慧機械與機器人

嵌入式晶圓移載機器人

過去晶圓機器人在整合至晶圓移載設備時，常面臨空間利用率低，設備體積過大、維修不便、運行穩定性受限、電磁干擾影響精度等挑戰。因應半導體業需求，晶圓移載機器人的性能要求也隨之增加。
MORE
202410141337590.jpg 圖片
2024.07.19智慧機械與機器人

嵌入式傳送機器人

晶圓機器人目前市場規模約8.1億美元，預估2025年將達10.3億美元，而隨著半導體產業不斷擴張，晶圓機器人的需求與性能要求也隨之增加，本技術開發了高速且低振動控制機器人以及採用嵌入式控制系統，電控組件與機器人為一體式設計，有效提升機器人整合至EFEM中之空間利用率，並解決維修不便、電磁干擾等問題。
MORE
Wafer-Type-Ion-Energy-Diagnostic-Module.jpg 圖片
2023.07.31先進綠能

晶圓式離子能量量測模組

半導體電漿製程中，晶圓表面之離子能量大小及空間分佈情形極為關鍵。晶圓式離子能量分析模組具有19個GiEA量測單元，可用以量測晶圓上離子能量空間分佈情形。 GiEA (Gridded ion Energy Analyzer)量測單元具有低離子散射及高能量解析度能力，可大幅提升量測準確度。
MORE
composite-processing-technology-of-hard-and-brittle-materials.jpg 圖片
2023.07.11先進綠能

硬脆材料複合加工技術

碳化矽可應用在次世代功率元件中，為下世代功率半導體元件的關鍵材料。因高硬度及高耐化性等難加工特性，導致使生產率低，阻礙功率元件發展潮流。本技術建立複合式研拋製程平台，透過導入超音波輔助加工技術及大氣電漿輔助改質技術，可大幅提升碳化矽晶圓產能效率及有效降低製造成本。
MORE
optical-crystal-nano-precision-processing-technology.jpg 圖片
2023.07.11先進綠能

光學晶體奈米精度加工技術

精密晶體光學元件可應用於雷射源、曝光機等高端系統，在半導體設備之光學零組件市場中，因硬脆材料透鏡具有明顯的異向性及次表層損傷之特性，導致拋光製程不易掌控、製程成本高及量產性低。本技術建立可在大氣環境下運作之微能量束加工平台，以滿足目前精密零組件加工之需求。
MORE
Thin-film-process-optimization-simulator-equipment-technology.jpg 圖片
2023.07.11先進綠能

薄膜製程優化模擬器與設備技術

目前精密鍍膜國內自主化技術正待建立，亟需解決 ALD產能慢與 PECVD薄膜緻密性低之問題，藉由多重物理耦合 結合AI技術，以降低設計模型的不確定性和搜尋最佳製程參數，協助工程師加速設定製程參數的時間，提升Time-To-Market的能力，優化縮短設備模組開發時程。
MORE
ITRIDS.jpg 圖片
2022.07.29智慧機械與機器人

多車派車系統於封測廠magazine搬運應用

當前國內封測廠搬運magazine之機制因現場工序動態調整需求高，大多採人工搬運。本系統透過特殊夾爪設計取放magazine，同時於派車功能導入智慧動態排程，優化任務組合執行機制。能因應封測廠複雜度高的變動性工序指派需求，達成半導體封測廠magazine自動搬運。
MORE
Unmanned-guided-vehicle-for-clean-room-environment.jpg 圖片
2020.04.16智慧機械與機器人

高潔淨室環境用無人搬運車

高潔淨室環境用無人搬運車技術開發，結合單晶片控制器、磁感測模組與驅動控制模組等關鍵模組技術，開發國產化磁帶導引式高潔淨室無人搬運車，並通過半導體製造設備環境衛生安全（SEMI S2）認證。
MORE
TOP